介質(zhì)在外加電場(chǎng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電荷而削弱電場(chǎng)，介質(zhì)中的電場(chǎng)減小與原外加電場(chǎng)(真空中)的比值即為相對(duì)介電常數(shù)(relative permittivity或dielectric constant)，又稱誘電率，與頻率相關(guān)。介電常數(shù)是相對(duì)介電常數(shù)與真空中介電常數(shù)乘積。如果有介電常數(shù)的材料放在電場(chǎng)中，電場(chǎng)的強(qiáng)度會(huì)在電介質(zhì)內(nèi)有可觀的下降。理想導(dǎo)體的相對(duì)介電常數(shù)為無窮大。

測(cè)量方法

相對(duì)介電常數(shù)εr可以用靜電場(chǎng)用如下方式測(cè)量:在兩塊板之間為真空的時(shí)候測(cè)試電容器的電容C0。然后，用同樣的電容板間距離但在板間加入電介質(zhì)后測(cè)得電容Cx。然后相對(duì)介電常數(shù)可以用下式計(jì)算

εr=Cx/C0

在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，不含二氧化碳的干燥空氣的相對(duì)電容率εr=1.00053.因此，用這種電構(gòu)形在空氣中的電容Ca來代替C0來測(cè)量相對(duì)電容率εr時(shí)，也有足夠的準(zhǔn)確度。(參考GB/T 1409-2006)

對(duì)于時(shí)變電磁場(chǎng)，物質(zhì)的介電常數(shù)和頻率相關(guān)，通常稱為介電系數(shù)

應(yīng)用

近十年來，半導(dǎo)體業(yè)界對(duì)低介電常數(shù)材料的研究日益增多，材料的種類也五花八門。然而這些低介電常數(shù)材料能夠在集成電路中應(yīng)用的速度卻遠(yuǎn)沒有人們想象的那么快。其主要低介電常數(shù)薄膜機(jī)械性質(zhì)量測(cè)結(jié)果原因是許多低介電常數(shù)材料并不能滿足集成電路應(yīng)用的要求